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自立式6吋快速退火炉(RTP-3-06系列)

自立式6吋快速退火炉(RTP-3-06系列)

RTP-3-06系列自立式6吋快速退火炉采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品(6英寸)快速升温和降温，可用于快速热处理(RTP)、快速热退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等半导体工艺。

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桌面式4吋快速退火炉(RTP-3-04系列)

桌面式4吋快速退火炉(RTP-3-04系列)

快速退火炉RTP-3-04系列采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品（4英寸样品）快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。

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桌面式1吋快速退火炉(RTP-3-01系列)

桌面式1吋快速退火炉(RTP-3-01系列)

快速退火炉RTP-3-01系列采用红外辐射加热技术，可实现1吋(选配2吋)样品快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氮化(RTN)、快速热氧化(RTO)及金属合金化等研究和生产起到重要作用。

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TC-Wafer校准仪

TC-Wafer校准仪

TC-wafer校准仪是一款应用于晶圆温场均匀性实时测量校准的仪器设备,并能生成报告。

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液氮低温恒温器(LNT-3）

液氮低温恒温器(LNT-3）

LNT-3系列液氮低温恒温器，是利用稳态气泡原理使样品处于恒定或按照所需方式变化的低温环境中，并能对样品进行一种或多种物理性能测量的低温恒温装置。

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手动探针台LNP-3RT

手动探针台LNP-3RT

探针台LNP-3RT为微米级小尺寸样品电特性测试提供高精度、高接触可靠性的可控测量环境。设备通过CMA中国计量认证。

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冷热台（LND-3M）

冷热台（LND-3M）

冷热台（LND-3M）系列，可实现连续变温及逐点控温，控温精度±0.1℃；通过控制热源（电阻加热器）和冷源（液氮）来维持样品所要求温度的一种装置，其采用PID调节与模糊控制相结合的方式进行温度控制，能有效实现大温区连续控制，按照既定程序升温及保温等。

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光模块变温测试台LND-OM

光模块变温测试台LND-OM

光模块变温测试台支持工业级低温、常温、高温温控，满足 SFP 、QSFP 、QSFP-DD 封装模块使用，可扩展多类封装模块。广泛应用于光模块、光器件及其组件、小型和微型化封装的电子产品，在研发、生产各个环节的高低温测试中。

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变温变磁霍尔效应测试仪HET-3TM

变温变磁霍尔效应测试仪HET-3TM

变温变磁霍尔效应测试系统HET-3TM支持标准法和范德堡法两种测量方法。其中标准法通过测量特定方向电压差计算参数；范德堡法测量材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等电运输性能参数，该方法可对薄膜或薄层材料进行测量

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科教一体霍尔效应测试仪

科教一体霍尔效应测试仪

教学仪器的价格，科研设备的体验：科教一体霍尔效应测试仪HET-3L是依据范德堡法测量材料的电运输性能参数：载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等，更全面地评估材料的电性能，为电子器件和电路设计提供重要参考。

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薄膜热电参数测试系统(MRS-3)

薄膜热电参数测试系统(MRS-3)

薄膜热电参数测试系统MRS-3专门针对薄膜材料的变温seebeck系数和电阻率的测量仪器，采用动态法和四线法保证测试结果的准确和稳定，拥有宽广的测试范围和便捷的操作界面。

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热电参数测试系统(Namicro-3)

热电参数测试系统(Namicro-3)

热电参数测试系统Namicro-3采用动态法(具有专利技术-专利号：ZL201811242049.2发明专利)和四线法分别测量样品的Seebeck系数和电阻率。Namicro-3主要是用于测试块体热电材料，包括康铜、镍、钨等金属，Te、Bi2Te3、ZrNiSn、ZnAgSb、NiMoSb、SnTe、FeNbSb、CuGaTe2、GeTe、Ag1-xCuS、Cu2ZnSnSe4等半导体及化合物，以及聚苯胺、PEDOT等高分子聚合物。

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芯片热管理分析系统 DMS

芯片热管理分析系统 DMS

芯片热管理分析系统是一款专门研究芯片在自工作状态下的发热、热流、热分布及热扩散情况的设备。

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薄膜热导率测试系统(TCT-3RT)

薄膜热导率测试系统(TCT-3RT)

薄膜热导率测试系统TCT-3RT采用3ω测试方法，利用微/纳米薄膜材料导热引起加热器电信号的变化来检测其热导率。可验证薄膜材料在室温条件下的热导率性能差异。主要应用范围为微/纳米薄膜材料的热导率测量，可广泛应用于辅助各种功能薄膜材料的研究与开发，其涵盖范围包括集成电路散热材料、航空航天材料、热电材料与器件、信息存储与光电器件等。

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光功率热分析仪(OPA-3)

光功率热分析仪(OPA-3)

光功率热分析仪是世界首台纳米级薄膜材料物性分析仪，填补了国际对纳米级薄膜材料无损检测其相变温度和热膨胀系数的技术空白！不仅可用于检测块体，还可检测低至1nm的薄膜材料。根据材料相变前后光学性质（反射光功率）有较大差异的特性检测材料的相变温度，依据光干涉原理检测透光材料的热膨胀系数，融合了相变温度分析仪和热膨胀系数分析仪的两项功能。

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热膨胀系数分析仪(TEA-3)

热膨胀系数分析仪(TEA-3)

热膨胀系数分析仪采用创新的光干涉原理专利技术（专利号：ZL201410421128.5），可无损检测块体和薄膜样品透明材料的热膨胀系数，广泛应用于辅助各种新材料，尤其是薄膜材料的研究与开发以及质量检验。

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教学霍尔系数测试仪(HET-3EL)

教学霍尔系数测试仪(HET-3EL)

教学霍尔系数测试仪(HET-3EL)，运用范德堡法，可用于测试教学样品的霍尔系数、载流子浓度、载流子迁移率等，可为大专院校提供专业、便捷、快速高效的教学实训服务。

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桌面式1吋快速退火炉-RTP-3E01（教学版）

桌面式1吋快速退火炉-RTP-3E01（教学版）

快速退火炉采用红外辐射加热技术，可实现1吋(选配2吋)样品快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氮化(RTN)、快速热氧化(RTO)及金属合金化等研究和生产起到重要作用。

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液氮低温恒温器-LNT-3E(教学版）

液氮低温恒温器-LNT-3E(教学版）

LNT系列液氮低温恒温器，是利用稳态气泡原理使样品处于恒定或按照所需方式变化的低温环境中，并能对样品进行一种或多种物理性能测量的低温恒温装置。

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教学泽贝克系数测试仪(MRS-3EL)

教学泽贝克系数测试仪(MRS-3EL)

教学泽贝克系数测试仪(MRS-3EL)，运用动态法，可用于测试教学样品的泽贝克系数，为大专院校提供专业、便捷、快速高效的教学实训服务。

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TC-Wafer校准仪

TC-Wafer校准仪

TC-wafer校准仪是一款应用于晶圆温场均匀性实时测量校准的仪器设备,并能生成报告。支持最多20路实时测量晶圆温度；温度均匀性实时曲线图和数值显示！

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红外加热灯管

红外加热灯管

红外加热灯管是快速退火炉RTP系列配件，使用卤素循环设计，响应时间短。可以配合复杂的加热编程，达到精准可控的红外能量输出，满足半导体工业对精确温度与加热区域的严格要求。

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石英样品托架

石英样品托架

石英样品托架是快速退火炉RTP系列配件，采用高纯度石英砂（99.95%）精密制造，高温环境下仍可保持稳定的化学性质。用于承载石墨托盘，也可以直接承载晶圆。适用于1-12英寸快速退火炉。

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碳化硅石墨托盘

碳化硅石墨托盘

碳化硅石墨托盘是快速退火炉RTP系列配件，采用进口等静压石墨精密制造，可有效提高设备的温度均匀性（以opta足球数据官网RTP-3-08为例，温度均匀性可以从1.5%提升到1.0%）。

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Mask Case水晶盒

Mask Case水晶盒

自动化存储水晶盒，一般与系统对接，所有水晶盒及其内部的mask信息全部与储位信息实时绑定，解决找mask难的问题，也提供高洁净的存储环境，起到保护作用。

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光罩夹

FAB黄光区手动检查mask时使用，产品采用抗静电设计；Mask接触部件采用耐化学性腐蚀且自润滑PEEK材质；把手带斜度设计（15度），方便光罩夹放操作；夹口浅沿设计，减少光罩接触；

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12寸ring铁环

12寸ring铁环

12寸金属绷框配合UV膜一块使用，起到固定wafer的作用；外观尺寸380mm(L)*380mm(W)*1.52mm(T)；适用12Inchwafer（φ300mm）；不锈钢SUS420J2,硬度高，不易变形；

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Metal Cassette

Metal Cassette

高温退火工艺需要用到能搞抗住高温的metal Cassette，符合SEMI标准，各类材质 Cassette,PEEK&PBT&PFA&Metal，涵盖4"/6”/8”/12”线各场景应用，大量实际应用案例，可满足客户定制化需求！

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关于我们

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　　opta足球数据官网成立于2009年，是以薄膜物性测量仪器作为战略定位，技术自主创新的高新技术企业。公司集研发、市场和技术服务于一体，且相继被评为湖北省“百人计划 ”及武汉市政府“城市合伙人 ”企业。公司成立于 2009 年，总部位于中国·光谷，专注于薄膜材料物理性能测量仪器的自主研发···

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材料热分析、材料样品制备与加工、材料电磁分析、材料力学分析、材料光学分析

江苏大学1吋快速退火炉RTP-3S01实验

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江苏大学1吋快速退火炉RTP-3S01升温1200℃时软件录屏

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4吋快速退火炉RTP-3S04升温实验

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中科院半导体研究所4吋快速退火炉RTP-3S04升温1200℃实验软件录屏

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1吋RTP-3S01快速退火炉实验升温曲线图

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清华大学1吋快速退火炉RTP-3S01系列升温曲线图

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4吋快速退火炉RTP-3S04升温实验曲线图

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浙江大学4吋快速退火炉RTP-3S04系列升温曲线图 4吋快速退火炉RTP-3S04升温实···

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薄膜变温电阻测试仪TRT-3

大连理工大学使用opta足球数据官网薄膜变温电阻测试仪TRT-3测试CuNiFe样品电阻率随温度变化结果 ···

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霍尔效应测试系统HET-3

山东大学使用opta足球数据官网霍尔效应测试系统HET-3测试钛酸锶样品的电阻率、霍尔系数、载流子浓度、迁移率数据···

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薄膜热导测试系统TCT-3

中科院上海微系统所购买opta足球数据官网薄膜热导测试系统TCT-3，测试SiO2薄膜样品热导数据 &n···

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薄膜热电参数测试系统MRS-3

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热电参数测试系统Namicro-3

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相变温度分析仪PCA-3

成都理工购买opta足球数据官网相变温度分析仪PCA-3，测试HfO2薄膜的相变温度相变温度分析仪PC···

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Case Center

opta足球数据官网8吋快速退火炉被江苏敏而精密科技有限公司顺利验收

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opta足球数据官网RTP-3S01快速退火炉华中科技大学顺利验收

中国地质大学和武汉opta足球数据官网展开合作

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